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福潤德程控擴散爐
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更新時間：2024-10-31 信息編號：673fol9fg4e8ed

價格：
面議
品牌：
福潤德
產(chǎn)地：
青島
關鍵詞：
福潤德,程控

張琪

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福潤德程控擴散爐

產(chǎn)品別名	福潤德	面向地區(qū)	山東青島	品牌	福潤德
產(chǎn)地	青島	適用工件	平面	自動化程度	全自動
打印方向	雙向打印

擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè)，對所加工的硅
片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。

主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。

擴散爐技術指標：

可處理硅片尺寸：2—12英寸
外型形式：臥式1—4管結構
工作溫度：200℃—1300℃
恒溫區(qū)長度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
單點溫度穩(wěn)定性、重復性：≤±1℃／24h
溫度斜變：可控升溫速率15℃／min
可控降溫速率：5℃／min
送片裝置：手動推拉
氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管
氣體控制：手動浮子流量計
控制方式：程控

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青島福潤德微電子設備有限.. 2年

主營：太陽能擴散爐,程控高低溫擴散爐
地址：山東青島市城陽區(qū)棘洪灘街道前海西社區(qū)韓海路南端

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