該技術(shù)的主要特征為：利用低能X光激發(fā)待測(cè)元素，對(duì)Si、S、Al、Na、Mg等輕元素有良好的激發(fā)效果，并且測(cè)試時(shí)間短，大大提高了檢測(cè)效率和工作效率：采用UHRD探測(cè)器，具有良好的能量線性和能量分辨率，及良好的能譜特性，較高的峰背比；采用自動(dòng)穩(wěn)譜裝置，了儀器工作的一致性：利用解譜技術(shù)使譜峰分解，使采用UHRD探測(cè)器的分析儀對(duì)Si、S、AI等輕元素的測(cè)試具有好的分析精度；采用多參數(shù)的線性回歸方法，使元素間的吸收、排斥效應(yīng)得到明顯的降低。
性能特點(diǎn)
的水泥、鋼鐵、礦料等全元素分析，亦可用于鍍層檢測(cè)和RoHS檢測(cè)。

X熒光光譜儀分析粉末樣品主要有兩種方法：
①、熔融法。熔融法是應(yīng)用較多的一種制樣方法，它較好地消除了顆粒度效應(yīng)和礦物效應(yīng)的影響。但熔融法也有缺點(diǎn)：因樣品被熔劑稀釋和吸收，使輕元素的測(cè)量強(qiáng)度減?。恢茦訌?fù)雜，要花費(fèi)大量時(shí)間；成本也較高。
②、粉末壓片法
粉末壓片法的優(yōu)點(diǎn)是簡(jiǎn)單、快速、經(jīng)濟(jì)，在分析工作量大、分析精度要求不太高時(shí)應(yīng)用很普遍，也常用于痕量元素的分析。在實(shí)際應(yīng)用如水泥、巖石、化探樣品的分析中，粉末壓片是一種應(yīng)用很廣泛的X熒光光譜儀制樣法。

X熒光光譜儀分析法中不同樣品有不同的制樣方法。金屬樣品如果大小形狀合適，或者經(jīng)過簡(jiǎn)單的切割達(dá)到X 熒光光譜儀分析的要求，只需表面拋光，液體樣品可以直接分析，大氣塵埃通常收集在濾膜上直接進(jìn)行分析。而粉末樣品的制樣方法就比較復(fù)雜。這里只對(duì)常見的固體和粉末樣品的制樣方法進(jìn)行討論，液體樣品就不再討論。
1、固體樣品的主要缺點(diǎn)是，一般情況下不能采用各種添加法：如標(biāo)準(zhǔn)添加（或稀釋）法、低（或高）吸收稀釋法、內(nèi)標(biāo)法等。若所有樣品中已經(jīng)含有適當(dāng)?shù)摹⒁欢舛鹊膬?nèi)標(biāo)元素，則上述的后兩種方法還是可用的。另外，也不能進(jìn)行化學(xué)濃縮和分離。表面結(jié)構(gòu)和成分有時(shí)也難取得一致。可能弄不到現(xiàn)成的標(biāo)樣，而人工合成又很困難。
2、制樣方法，固體樣品可用未加工的或經(jīng)加工的大塊材料或原材料（如生鐵，鋼錠等）制取。另外，也可把熔爐的熔融物直接澆鑄到小模子里。為防止緩慢冷卻時(shí)發(fā)生的成分偏析，好用激冷。經(jīng)拋光的原材料，或經(jīng)砂輪磨打的表面，一般是令人滿意的，但對(duì)后者仍需進(jìn)一步拋光，以減少表面粗糙度，并除去加工損傷的和沒有代表性的表面層。拋光的方法有許多種，包括：
（1）行帶式磨削，然后用拋光器拋光，其砂紙粒度依次由粗變細(xì)
（2）用車床、銑床或刨床進(jìn)行加工。對(duì)于薄板和箔，仔細(xì)操作，以表面不出現(xiàn)翹曲、和折痕。特別要注意不能照射時(shí)間太長(zhǎng)，以免受熱變形。薄板和箔襯上一塊剛性支撐物，或把它們粘在一起。
制備固體樣品時(shí)要注意：
（1） 樣品的分析面不能有氣孔，析出物和多孔質(zhì)現(xiàn)象。
（2） 防止偏析。造成偏析的因素：合金的組成和密度；鑄模的材料、形狀和厚度；合金熔化溫度、澆鑄溫度和被澆鑄樣品的冷卻速度等。