X熒光光譜儀（X-ray Fluorescence Spectrometer，簡(jiǎn)稱XRF）是一種用于元素分析的科研儀器，通過利用X射線的熒光效應(yīng)來(lái)探測(cè)樣品中的元素。該儀器廣泛應(yīng)用于許多領(lǐng)域，如材料科學(xué)、環(huán)境監(jiān)測(cè)、考古學(xué)、地質(zhì)學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等

X射線源：是發(fā)射X射線的部件，常用于X射線管或放射性同位素。不同類型的X射線源對(duì)樣品的分析有不同的適用性。
樣品室：樣品置放的地方，通常設(shè)計(jì)為真空或氣體氛圍，以避免空氣對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。
探測(cè)器：用于接收測(cè)量到的熒光X射線，并將其轉(zhuǎn)化為電信號(hào)。常見的探測(cè)器有硅漂移探測(cè)器（SDD）和氣體探測(cè)器。
數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)：負(fù)責(zé)分析探測(cè)器發(fā)出的信號(hào)，生成終的數(shù)據(jù)報(bào)告。現(xiàn)代的XRF儀器通常配備的軟件，能夠進(jìn)行復(fù)雜的數(shù)據(jù)分析和處理。

標(biāo)準(zhǔn)配置移動(dòng)樣品平臺(tái)
Si-pin探測(cè)器
信號(hào)檢測(cè)電子電路
高低壓電源
大功率X光管
計(jì)算機(jī)及噴墨打印機(jī)
RoHS檢測(cè)分析
地礦與合金（銅、不銹鋼等）成分分析
金屬鍍層的厚度測(cè)量、電鍍液和鍍層含量的測(cè)定
黃金，鉑，銀等貴金屬和各種首飾的含量檢測(cè)

XRF的篩選X射線熒光光譜儀是公認(rèn)的RoHS篩選檢測(cè)儀器，由于其檢測(cè)速度快、分辨率高、實(shí)施無(wú)損檢測(cè)，所以被廣泛采用。熒光光譜儀繁多，以至于分不出誰(shuí)好誰(shuí)差了。在《電子信息產(chǎn)品有毒有害物質(zhì)的檢測(cè)方法》IEC62321標(biāo)準(zhǔn)文本里提到：“用能量散射X射線熒光光譜法（ED－XRF）或波長(zhǎng)散射X射線熒光光譜法（WD－XRF）對(duì)試樣中目標(biāo)物進(jìn)行測(cè)試，可以是直接測(cè)量樣品（不破壞樣品），也可以是破壞樣品使其達(dá)到”均勻材料”（機(jī)械破壞試樣）后測(cè)試?！蹦苷嬲郎?zhǔn)確無(wú)誤地將試樣篩選出合格、不合格、不確定三種類型，而且能限度地縮小“不確定”部分是好儀器。在既定準(zhǔn)確度的情況下盡可能快速檢測(cè)。尤其是企業(yè)選購(gòu)，光譜儀是做日常RoHS監(jiān)督檢測(cè)用，非常看重這一點(diǎn)。所以，能夠準(zhǔn)確無(wú)誤地將試樣篩選出合格、不合格、不確定三種類型，又能限度地縮小“不確定”部分，而且全部過程是在短的時(shí)間內(nèi)完成的X射線熒光光譜儀是滿足使用要求的光譜儀

X熒光光譜分析在各行業(yè)應(yīng)用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應(yīng)用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等各個(gè)領(lǐng)域，特別是在RoHS檢測(cè)領(lǐng)域應(yīng)用得多也廣泛。大多數(shù)分析元素均可用其進(jìn)行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。并且具有分析速度快、測(cè)量范圍寬、干擾小的特點(diǎn)。下面我們來(lái)簡(jiǎn)單介紹一下該儀器的原理。

在現(xiàn)代材料和環(huán)境分析領(lǐng)域，X熒光光譜儀以其、的特色，成為了各類實(shí)驗(yàn)室的重要設(shè)備。其應(yīng)用范圍從金屬材料、礦物質(zhì)、土壤到電子廢料的分析，幾乎涵蓋了所有需要元素定量分析的領(lǐng)域。